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- 高精密真空吸附平台,保证基板吸附平整;
- 特殊的供料系统设计,减少浆料的管道残留;
- 特殊的模头定位机构,提升模唇与基板的间隙精度;
- 实时检测模唇与基板的间隙,提升湿膜厚度控制精度;
- 特殊的减震系统和刚性设计,减小涂布过程中的跳动;
- 可集成闪蒸工序。
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