双极板气密检测机
功能特点:
- 采用压差或流量计的方式检测,检测精度高;
- 采用小量程高精度传感器,检测精度更高;
- 特殊的管路设计,保证系统泄漏量更小;
- 先进的检测逻辑,保证重复测量精度更高。
详情参数
功能特点
- 采用压差或流量计的方式检测,检测精度高;
- 采用小量程高精度传感器,检测精度更高;
- 特殊的管路设计,保证系统泄漏量更小;
- 先进的检测逻辑,保证重复测量精度更高。
技术参数
|
基本项目 |
参数值 |
|
检测方式 |
流量法&压差法 |
|
阴阳极检测压差 |
1kPa~200kPa |
|
检测压差分辨率 |
0.01kPa |
|
检测压差精度 |
±0.5%F.S |
|
可识别泄露流量 |
0.001~2mL/min |
|
流量分辨率 |
0.001mL/min |
|
流量检测精度 |
±0.5%F.S |
|
可识别压差 |
5~1000Pa |
|
压差分辨率 |
0.1Pa |
|
压差检测精度 |
±0.5%F.S |